[发明专利]原位微区结构分析与性质测试联合系统有效
申请号: | 200410070112.0 | 申请日: | 2004-08-02 |
公开(公告)号: | CN1587977A | 公开(公告)日: | 2005-03-02 |
发明(设计)人: | 白雪冬;王恩哥;薛其坤;王中林;陈东敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | G01N13/10 | 分类号: | G01N13/10;G01N27/00;G01N23/225 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 尹振启 |
地址: | 100080北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种原位微区结构分析与性质测试联合系统,包括透射电子显微镜和扫描探针显微镜,扫描探针显微镜包括机械系统和电子学系统,机械系统安装在与透射电子显微镜样品杆外形尺寸一致的气密的空心杆内,对探针(或样品)的位置在透射电镜中可观测的空间范围内进行调节,电子学系统控制机械系统工作并对所测信号进行处理。本系统将透射电子显微镜和扫描探针显微镜的优势集于一身,实时记录材料微区原子结构和原位物性,将微区物性与其微观结构直接对应起来,能可视地操纵扫描探针显微镜的双探针(或样品),并对样品进行位置调节和物性测量,可针对个别纳米结构进行再重入和定位测量。 | ||
搜索关键词: | 原位 结构 分析 性质 测试 联合 系统 | ||
【主权项】:
1、一种原位微区结构分析与性质测试联合系统,其特征在于,包括透射电子显微镜和扫描探针显微镜,扫描探针显微镜包括机械系统和电子学系统,机械系统安装在与标准透射电子显微镜样品杆外形尺寸一致的气密的空心杆内,对探针或样品在透射电镜的可观测空间范围内进行位置调节,电子学系统控制机械系统工作并对所测信号进行处理。
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