[发明专利]光阻用显影液浓度管理方法与管理装置无效
| 申请号： | 200410070411.4 | 申请日： | 2004-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1664706A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 臼井透 | 申请（专利权）人： | 西村保二;株式会社凯密 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郝庆芬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种考虑碳酸盐浓度的影响而可以精确、实时地得到实际的有效显影液浓度、有效溶解光阻浓度的光阻用显影液管理方法与管理装置。由显影液的导电率与超音波传播速度的相关关系，算出表观显影液浓度(TM1)与表观溶解光阻浓度(PR1)；由显影液的吸光度的光谱分析得到波峰波长差(δw1)，利用该波峰波长差与显影液的碳酸盐浓度的相关关系，算出碳酸盐浓度(TMAC1)；根据这样得到的碳酸盐浓度(TMAC1)，考虑用事先通过二氧化碳吹入实验得到的碳酸盐浓度对于溶解光阻浓度、显影液浓度的影响，算出有效溶解光阻浓度(PR2)与有效显影液浓度(TM2)。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻用 显影液 浓度 管理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种显影液管理方法，用以管理光阻用显影液；其特征在于：由显影液的导电率与超声波传播速度的相关关系，算出表观显影液浓度(TM1)与表观溶解光阻浓度(PR1)；由显影液的吸光度的光谱分析得到波峰波长差(δw1)，用该波峰波长差与显影液的碳酸盐浓度的相关关系，算出碳酸盐浓度(TMAC1)；根据这样算得的碳酸盐浓度(TMAC1)，使用事先通过二氧化碳吹入实验得到的碳酸盐浓度与溶解光阻浓度误差的相关关系，算出溶解光阻浓度误差(ΔPR)；从所述表观溶解光阻浓度(PR1)减去该溶解光阻浓度误差(ΔPR)来算出有效溶解光阻浓度(PR2)；另外，根据上述算得的碳酸盐浓度(TMAC1)，用事先通过二氧化碳吹入实验得到的碳酸盐浓度与显影液浓度误差的相关关系，算出显影液浓度误差(ΔTM)；从所述表观显影液浓度(TM1)减去该显影液浓度误差(ΔTM)，算出有效显影液浓度(TM2)。
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