[发明专利]薄膜构图方法及制造平板显示器件的方法和设备有效
| 申请号： | 200410070552.6 | 申请日： | 2004-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN1637540A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 金容凡;金珍郁 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;H01L21/00;G09F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种制造薄膜的方法，以及制造平板显示器件的方法和设备，它们可以无需利用光刻工艺而进行构图处理，从而可以缩短处理时间并减少图案缺陷。根据本发明实施例的制造薄膜的方法和制造平板显示器件的方法和设备包括以下步骤：在基板上形成薄膜；在形成有所述薄膜的基板上涂布含有溶剂的抗蚀剂溶液；在具有所述抗蚀剂溶液的基板上对准软模；在所述溶剂的气化温度以下对所述抗蚀剂溶液进行第一热处理，同时对所述抗蚀剂溶液上的软模施压，从而在所述薄膜上形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图案分离；通过第二热处理使所述抗蚀剂图案固化；以及利用所述抗蚀剂图案作为掩模对所述薄膜进行构图。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 构图 方法 制造 平板 显示 器件 设备 | ||
【主权项】：
1、一种平板显示器件的制造方法，包括以下步骤：在基板上形成薄膜；在形成有所述薄膜的基板上涂布含有溶剂的抗蚀剂溶液；在具有所述抗蚀剂溶液的基板上对准软模；在所述溶剂的气化温度之下对所述抗蚀剂溶液进行第一热处理，同时对所述抗蚀剂溶液上的软模施压，从而在所述薄膜上形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图案分离；通过第二热处理使所述抗蚀剂图案固化；以及利用所述抗蚀剂图案作为掩模对所述薄膜进行构图。
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