[发明专利]物理气相沉积室的遮蔽盘和托板无效
| 申请号： | 200410070866.6 | 申请日： | 2004-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1576386A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·费尔茨曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明一般提供了在物理气相沉积室中使用的方法和设备。在一个实施例中，本发明提供了一种遮蔽盘机构，该遮蔽盘机构消除了将遮蔽盘轴向定位到将该遮蔽盘传送到衬底支承的机械手托板的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 物理 沉积 遮蔽 | ||
【主权项】：
1.一种用于在物理气相沉积室中覆盖衬底支承的遮蔽盘，所述遮蔽盘包括：由外边缘、延伸到所述外边缘的上表面和与所述上表面相对布置的下表面所界定的盘主体，其中所述下表面还包括：从所述下表面延伸的中心凸台；在所述中心凸台中与所述盘主体共轴地形成的凹槽；和从所述下表面贴近所述外边缘处延伸的凸缘，所述凸缘延伸低于所述中心凸台。
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