[发明专利]用于制造磁记录介质衬底的方法无效
申请号: | 200410071639.5 | 申请日: | 2004-07-15 |
公开(公告)号: | CN1577511A | 公开(公告)日: | 2005-02-09 |
发明(设计)人: | 石井政利;津森俊宏;大桥健 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 樊卫民;关兆辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了一种用于制造磁记录介质的优选为小直径衬底的高效方法。更具体地说,提供了一种用于制造磁记录介质的衬底的方法,包括:取芯步骤,以从其直径至少为150mm至多为300mm的单晶硅晶片获得其外径至多为65mm的多个环形衬底,其中,内径和外径的取芯通过不同的方式来进行。在所述取芯步骤中,所述的内径取芯是通过水注切割或激光切割来进行的。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 记录 介质 衬底 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造磁记录介质的衬底的方法,该方法包括:取芯步骤,以从其直径至少为150mm至多为300mm的单晶硅晶片获得其外径至多为65mm的多个环形衬底,其中,内径和外径的取芯通过不同的方式来进行。
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