[发明专利]分区拼接多He－Ne激光器数字散斑干涉测量系统

摘要

本发明公开了一种分区拼接多He－Ne激光器数字散斑干涉测量系统，包括计算机、图像采集卡、CCD摄像机、D/A转换卡构成的数字图像处理及测量控制部分和激光分束镜、全反射镜、物光扩束镜、光学相移器、参考光扩束镜、成像镜头、半透半反立方棱镜构成的光路部分。其特点是系统中设置的低功率He－Ne激光器为多个，每一个低功率He－Ne激光器的光路上有光开关，通过光开关的控制，使不同的激光器在不同时刻对被测物体的不同区域照明，并且照明区域是紧密相邻的，而且有少许重合。各个低功率He－Ne激光器分别照明时均可以实现相移测量，采用图像拼接算法将各个激光器的测量结果拼接起来，得到大尺寸物体的完整待测信息。本发明使测量面积成倍地增加，得到的条纹对比度高。

主权项

1.一种分区拼接多He-Ne激光器数字散斑干涉测量系统，包括计算机、图像采集卡、CCD摄像机、D/A转换卡构成的数字图像处理及测量控制部分，和低功率He-Ne激光器、激光分束镜、全反射镜、物光扩束镜、光学相移器、参考光扩束镜、成像镜头、半透半反立方棱镜构成的光路部分；图像采集卡和D/A转换卡插在计算机的扩展槽里，D/A转换卡与光学相移器相连，图像采集卡与CCD摄像机相连，半透半反立方棱镜和成像镜头设置在CCD摄像机的前方；其特征在于，所述的低功率He-Ne激光器设置多个，每一个低功率He-Ne激光器的光路上设有光开关，通过各光开关对低功率He-Ne激光器的控制，使不同的低功率He-Ne激光器在不同时刻对被测物体的不同区域照明；在数字图像处理及测量控制部分的控制下，系统在各个低功率He-Ne激光器分别照明时都实施相移测量，得到各低功率He-Ne激光器照明区域的待测信息，由计算机中设置的图像拼接算法将各激光器测量的结果拼接起来，得到大尺寸物体的完整待测信息。