[发明专利]高精度印刷法制作有机薄膜晶体管的方法

摘要

一种高精度印刷制作有机薄膜晶体管的方法，主要包括有下列步骤：形成栅极(Gate)于一基板上，形成一绝缘层(Insulator layer)于该基板上，形成一导线电极膜于该绝缘层上，形成一有机中间层，形成一有机半导体层于该有机中间层上，形成一高分子定义信道宽度层于该有机半导体层上，形成一有机电极膜，形成一有机保护层，其中，形成各层的方法可用喷墨印刷法(Inject Printing)、网版印刷法(Screen Printing)、刮刀涂布法(Blade Coating)、辊涂法(Roller Coating)、纳米压印法(Nanoimprinting)、微接触印刷法(Micro Contact Printing)或旋涂法(Spin Coating)等等的高精度印刷方式。

主权项

1、一种高精度印刷法制作有机薄膜晶体管的方法，其特征在于其步骤包括：(a)形成栅极于一基板上；(b)形成一绝缘层于该基板和栅极上；(c)形成一导线电极膜于该绝缘层上；(d)形成一有机中间层于绝缘层上未被导线电极膜覆盖处；(e)形成一有机半导体层于该有机中间层上；(f)形成一高分子定义信道宽度层于该有机半导体层上；(g)形成一有机电极膜；(h)形成一有机保护层在有机电极膜和高分子定义信道宽度层上。