[发明专利]一种有机薄膜晶体管的多重保护层方法及装置有效
| 申请号： | 200410074040.7 | 申请日： | 2004-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1743929A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 谢丞忠;何家充;胡堂祥;李正中;黄良莹;林蔚伶;黄文奎 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;H01L29/786;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;徐金国 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有机薄膜晶体管的多重保护层的制造方法及装置，该方法包括以旋涂、喷墨印刷法、网印或微接触制作多重保护层，以形成一保护层于有机电晶极体上。此保护层的组成为水相溶剂薄膜或是油相溶剂薄膜及两者混合的结合物。多重保护层的制造装置，包括：基板；栅极层，形成于该基板上；绝缘层，形成于该基板与门极上；电极层，形成于该绝缘层上；半导体层，形成于该绝缘层及电极层上；及保护层，以本发明方式形成于该半导体与电极层上。本发明可有效提高晶体管对于环境的适应能力，并可制作出有机薄膜晶体管的多重保护层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 薄膜晶体管 多重 保护层 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种有机薄膜晶体管的多重保护层制造方法，其特征在于，包括：形成一栅极层于一基板上；形成一绝缘层于该基板上；形成一电极层于该绝缘层上；蒸镀一半导体层于该绝缘层及电极间；及涂布一保护层于该半导体层上。
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