[发明专利]光敏性树脂组合物，光敏性元件，防蚀图形及其制法和叠层基板有效
| 申请号： | 200410074276.0 | 申请日： | 2000-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1595297A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 佐藤邦明;沓名贵彦;吉野利纯;平山隆雄;鹈沢干夫 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/008 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郝庆芬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光敏树脂组合物，该组合物包含(A)光敏性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)阻燃剂，其中阻燃剂化合物中的卤原子或锑原子的含量为5重量％以下；以及，利用该光敏树脂组合物的光敏性元件、防蚀图案的制造方法、防蚀性图案和防蚀性图案的叠层基板。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 树脂 组合 元件 图形 及其 制法 叠层基板 | ||
【主权项】：
1.一种包含(A)光敏性树脂、(B)光聚合引发剂、(C2)有机氮类化合物和/或(C4)有机磷类化合物的光敏性树脂组合物。
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