[发明专利]整形环形光三差动共焦显微镜

摘要

本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域，涉及一种具有高性噪比和三维超分辨成像能力的整形环形光三差动共焦显微镜，主要包括激光器(1)，扩束器(2)、偏振分光镜(6)、λ/4波片(7)，显微物镜(8)、聚光镜(11)、(15)和(18)；以及针孔(12)、(16)、(19)和探测器(13)、(17)、(20)，还包括一个位于扩束器(2)和偏振分光镜(6)之间，整形入射光为环形光的环形光整形器件(4)，和一个位于偏振分光镜(6)和环形光整形器件(4)之间，调整入射环形光归一化半径的可调光阑(5)。本发明中的环形光整形器件，将三差动共焦显微镜入射激光光束整形为超分辨所需的特定结构的环形光束，来改善共焦显微镜的横向分辨力，并采用三差动共焦显微镜的光路布置提高共焦显微镜的轴向分辨力。

主权项

1.一种整形环形光三差动共焦显微镜，包括激光器(1)，依次放在激光器(1)发射端的扩束器(2)、偏振分光镜(6)、放置在偏振分光镜透射光路上的λ/4波片(7)、显微物镜(8)、将偏振分光镜(6)反射的测量光束分为两束测量光的分光镜(10)、将分光镜(10)透射光束分为两束测量光束的分光镜(14)、分别汇聚分光镜(10)反射测量光束和分光镜(14)分束后的两束测量光束的聚光镜(11)、(15)和(18)；分别位于聚光镜(11)焦点位置的针孔(12)、距聚光镜(15)焦点后距离为M的针孔(16)、距聚光镜(18)焦点前距离为M的针孔(19)；分别贴近针孔(12)、(16)和(19)的探测器(13)、(17)和(20)，其特征在于还包括一个整形入射光为环形光的环形光整形器件(4)，该环形光整形器件(4)位于扩束器(2)和偏振分光镜(6)之间。