[发明专利]X光分析设备

摘要

本发明公开了一种X光分析设备，其中X光源所发射的X光被施加到样品并且二维CCD传感器检测样品所衍射的X光。X光分析设备具有2θ旋转驱动器和程序。2θ旋转驱动器移动二维CCD传感器。执行上述程序以便控制CCD传感器的动作。2θ旋转驱动器绕着遍布样品表面的ω轴而旋转CCD传感器。所述程序将CCD传感器中的电荷转移与2θ旋转驱动器所驱动的CCD传感器的动作同步。所以，用于相同衍射角度的数据项能够在二维CCD传感器的象素中积聚。这实现了高速高灵敏度检测被衍射的X光。

主权项

1.一种X光分析设备(16)，其中X光源(18)所发射的X光被施加到样品(S)并且半导体X光检测装置(27)检测被样品(S)所衍射的X光，所述设备包括：检测器移动装置(23，26)，用于关于样品(S)而移动半导体X光检测装置(27)以使得半导体X光检测装置(27)能够检测X光；以及电荷转移信号产生装置(28)，用于在半导体X光检测装置(27)中产生电荷转移信号，每次半导体X光检测装置(27)移动的距离相应于构成半导体X光检测装置(27)的象素的宽度(d)的距离。