[发明专利]导电膜图案的形成方法、电光学装置和电子仪器有效

专利信息
申请号: 200410074938.4 申请日: 2004-09-01
公开(公告)号: CN1592528A 公开(公告)日: 2005-03-09
发明(设计)人: 丰田直之 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H05B33/26 分类号: H05B33/26;H05B33/10;H05B33/12;H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种不受基体材料的材质左右、能将基体材料上的导电性薄膜很好地改质,形成导电膜图案的形成方法。对具有含导电性材料的导电性层(3),和含有将光能变换成热能的光热转换材料的光热转换层(2)的基体材料(1)照射激光光线,用所述光热转换材料烧成至少一部分所述导电性层(3)。
搜索关键词: 导电 图案 形成 方法 光学 装置 电子仪器
【主权项】:
1.一种导电膜图案的形成方法,其特征在于,其中具有设置含导电性材料的导电性层,对含有将光能变换成热能的光热转换材料的基体材料照射光,用所述光热转换材料烧成至少一部分所述导电性层的工序。
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