[发明专利]用离子束对聚合物，金属和陶瓷材料进行表面改性的装置无效
| 申请号： | 200410074975.5 | 申请日： | 1998-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN1619008A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 高锡勤;郑烔镇;崔原国;赵靖 | 申请（专利权）人： | 韩国科学技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01J37/36 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林潮;樊卫民 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种用离子束(IB)对聚合物，金属和陶瓷材料进行表面改性的装置，该装置能够提供并控制一种施加于材料上进行表面改性的电压(220)以控制照射到该材料上的离子束的能量，能够区别在部分真空室中的反应气体的真空度，在该真空室中离子束从产生离子束的部分照射，而且该装置也能够用于两面照射处理和连续处理。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 聚合物 金属 陶瓷材料 进行 表面 改性 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用离子束对粉末材料进行表面改性的装置，该装置包括：室腔；用于在该室腔中保持真空的真空设施；带有用于产生离子束的离子枪的、安装在室腔上部的离子源；用于夹持被来自离子源的离子束照射的粉末材料并搅拌该粉末材料的夹持器设施；和用于向该粉末材料输送反应气体的反应气体输送设施。
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