[发明专利]基板表面清扫装置

摘要

本发明提供一种不会受到基板大型化的影响而能缩短基板表面清扫的流水作业时间、并能减小装置足迹的基板表面清扫装置。该基板表面清扫装置包括基板支撑传送装置和基板清扫装置。基板支撑传送装置，配置有多列从下方面侧支撑液晶面板、用于向Y方向传送液晶面板的送入旋转辊及送出旋转辊。基板清扫装置包括：设置在基板支撑传送装置的中央部上方、由履带式的清扫带；对该清扫带赋予规定的张力且缠绕清扫带的驱动导轮及从动导轮；用于旋转对带进行清扫而连结在驱动导轮上的驱动马达。清扫带，在构成液晶面板的玻璃基板上滑动。清扫带的滑动(旋转)方向(第2方向、X方向)设成相对于液晶面板的传送方向(Y方向)交叉的方向。

主权项

1.一种基板表面清扫装置，用于除去基板(50)表面所附着的异物等，其特征在于，包括：支撑上述基板(50)、用于向第1方向传送上述基板(50)的基板支撑传送装置(20)以及具有清扫带(11)的清扫装置(10)，上述清扫带(11)，在向上述第1方向传送上述基板(50)的状态下，沿上述基板(50)表面向在相对于上述第1方向交叉的第2方向上连续滑动，而除去上述基板(50)表面所附着的异物等。