[发明专利]抛光液和抛光有色金属材料的方法无效
| 申请号： | 200410075899.X | 申请日： | 2004-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1667076A | 公开（公告）日： | 2005-09-14 |
| 发明（设计）人： | 铃木祥一郎;有田了;福井洋一;土家和代 | 申请（专利权）人： | 上村工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蔡胜有 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种抛光液，包括铜离子和氯离子，Cu/Cl摩尔比为10－1到103，pH为0.5到10，适合于抛光由比如铜或铜合金的有色金属材料构成的表面。可以以高去除速率抛光更厚的金属膜，以便膜厚度分布变得均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 有色 金属材料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于由例如铜或铜合金的有色金属材料构成的衬底表面的抛光液，包括一价和/或二价的铜离子和氯离子，Cu/Cl摩尔比在10-1到103范围内，pH为0.5到10。
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