[发明专利]用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物和方法有效
| 申请号： | 200410076979.7 | 申请日： | 2004-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1591199A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 曹奎哲;蔡基成;权五楠;李坰默;黄龙燮;金圣培;长锡唱;尹锡壹 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD有限公司;东进瑟弥侃株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G02F1/136;G02F1/133 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物，该组合物包含：约10重量％～30重量％的胺化合物溶剂，该胺化合物溶剂包含链烷醇胺；约10重量％～80重量％的乙二醇类溶剂；约9.5重量％～79重量％的极性溶剂和约0.5重量％～10重量％的防腐蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 除去 相容 抗蚀剂 组合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物，其包含：约10重量％～30重量％的胺化合物溶剂，该胺化合物溶剂包含链烷醇胺；约10重量％～80重量％的乙二醇类溶剂；约9.5重量％～79重量％的极性溶剂；和约0.5重量％～10重量％的防腐蚀剂。
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