[发明专利]陶瓷衬底和制造陶瓷衬底的处理无效
| 申请号： | 200410077200.3 | 申请日： | 2000-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1592502A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 平松靖二;伊藤康隆 | 申请（专利权）人： | IBIDEN股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/18 | 分类号： | H05B3/18;H05B3/68;H05B3/20;H05B3/10;H01L21/68;H05K3/00;B28B19/00;B28B11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的是提供热均匀性和耐热冲击性方面优越的一种陶瓷衬底，而且在把陶瓷衬底制造成静电夹具的情况中，具有大的夹持力。本发明的陶瓷衬底是一种陶瓷衬底，它包括形成在其中的导体层，其特征在于，导体层的边缘部分是尖峰形状的。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 衬底 制造 处理 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷衬底，包括形成在其中的导体层，其特征在于，所述导体层的边缘截面是尖峰形状的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于IBIDEN股份有限公司，未经IBIDEN股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410077200.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
