[发明专利]具有调制功能的多模干涉型光分束器

摘要

本发明涉及一种用于光通信和光信息处理的、具有调制功能的多模干涉型光分束器，包括正负电极、p型接触层、上限制层、本征层、多量子阱波导层、本征层、下限制层、n型接触层、半绝缘衬底。器件采用多模、深刻蚀的多量子阱脊型波导，选取不同的干涉长度，实现不同的分光情况；直接在多模脊型波导上制作电吸收调制器。调制器电极采用共面波导型(CPW)结构，由于上、下限制层都具有梯度的掺杂，从而可以很好地把电场施加在多量子阱波导层，实现高速、低电压调制。这种复合功能器件由于不存在输入和输出波导，可以最大限度地减少器件制作难度和器件插入损耗。

主权项

1.一种具有调制功能的多模干涉型光分束器，其特征是该光分束器的上下两端有正电极(11)和负电极(12)，中间依次由p+型接触层(10)、p掺杂上限制层(9)和(8)、本征层(7)和(5)、多量子阱波导层(6)、n掺杂下限制层(4)和(3)、n+型接触层(2)和半绝缘衬底(1)构成。