[发明专利]蓝宝石衬底磨削方法有效
| 申请号： | 200410077379.2 | 申请日： | 2004-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1785593A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 许其推;李刚;吴启保 | 申请（专利权）人： | 方大集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 518055广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蓝宝石衬底磨削方法，所述磨削方法采用卧式磨削，通过砂轮摩擦所述衬底实现衬底的减薄，其特征在于，在所述磨削过程中采用间歇式磨削，将所述砂轮前进磨削所述衬底1～3秒后，再往后退使砂轮空转2～6秒。在本发明的蓝宝石衬底磨削方法中，由于采用了间歇式磨削方式，使得高速磨削时产生的热量得到及时释放，使砂轮保持较锋利状态，降低了破裂和掉边的可能性，并且部分释放了表面应力；在磨削结束时，采用轻拍式磨削1～3分钟，有效释放了表面应力，降低了去蜡后衬底的翘起度；通过对砂轮转速和磨下速度进行优化控制，既保证了磨削的速度，又不致使磨削质量变差；采用对称环形砂轮进行磨削，提高了磨削后衬底厚度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 磨削 方法 | ||
【主权项】：
1、一种蓝宝石衬底磨削方法，所述磨削方法采用卧式磨削，通过砂轮摩擦所述衬底实现衬底的减薄，其特征在于，在所述磨削过程中采用间歇式磨削，将所述砂轮前进磨削所述衬底1～3秒后，再往后退使砂轮空转2～6秒。
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