[发明专利]一种镍氢电池用多层薄膜电极及其制备方法

摘要

本发明是一种镍氢电池用多层薄膜电极及其制备方法，薄膜电极由基体薄膜和保护膜组成，基体薄膜的主要成分为镁和镍，化学组成为Mg_[p－x]A_[x]Ni_[1－y]B_[y]，保护膜为催化保护膜Pd、Pt、Ag、Au、Co、C_[1－r]Mg_[r]Ni_[t－q]D_[q]中的一种或二元或多元合金。该制备方法是首先用感应熔炼或粉末冶金方法预制合金靶，然后用物理气相沉积方法在基片上制成基体薄膜，在基体薄膜表面沉积催化保护膜，重复以上步骤得到多层薄膜。该薄膜可用于镍氢电池负极，特点是薄膜晶粒细小，具有很大的比表面积，大电流放电性能好，纳米多层复合具有复合增强效应和多重催化作用，电极使用寿命长；可以集成在微机械器件中，为微器件的发展提供动力支持。

主权项

1.一种镍氢电池用多层薄膜电极由基体薄膜和保护膜组成，基体薄膜的主要成分为镁和镍，化学组成为Mg[p-x]A[x]Ni[1-y]B[y]，A为Ti、Al、Mn、Y、混合稀土，B为Cu、Zr、V，其中1.0≤p≤2.5，0≤x≤1.5，0≤y≤0.8，其特征是，所述基体薄膜和保护膜交替覆盖，所述保护膜为催化保护膜Pd、Pt、Ag、Au、Co、C[1-r]Mg[r]Ni[t-q]D[q]中的一种或二元或多元合金，C包括混合稀土，D包括Cu、Zr、V、Al、Mn、Co中的一种或二元或多元合金，其中0≤r≤0.5，0≤q≤2.5，3≤t≤5.5。