[发明专利]制造衍射光学元件的方法无效
| 申请号： | 200410078077.7 | 申请日： | 2004-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1607403A | 公开（公告）日： | 2005-04-20 |
| 发明（设计）人： | 达·库·王;詹姆斯·艾伯特·马修斯;龙尼·保罗·瓦尔盖斯 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/42;G02B1/11 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于形成衍射透镜的方法，包括：在硅衬底的第一表面上形成刻蚀停止层，在所述刻蚀停止层的上方形成衍射光学元件，形成覆盖所述衍射光学元件的平坦层，平坦化所述平坦层，在所述平坦层上形成结合层，将所述透明衬底结合到所述结合层，将所述硅衬底的第二表面刻蚀到所述刻蚀停止层，以去除所述硅衬底的与所述衍射光学元件相对的一部分，其中，所述硅衬底的剩余部分形成结合环。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 衍射 光学 元件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成衍射透镜的方法，包括：在透明衬底的第一表面上形成叠层，所述叠层包括由刻蚀停止层分开的至少两个相移层，所述透明衬底对于从红外线到紫外线之间选择的波长的光是可透过的；以及对所述叠层图案化，以形成衍射光学元件的叠层。
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