[发明专利]电子喷射装置及离子注入装置有效
| 申请号： | 200410078080.9 | 申请日： | 2004-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1599020A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 伊藤裕之;松永保彦;塙广二 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/077;H01J37/20;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种可喷出低能量电子从而减轻了维护负担的电子喷射装置及具有该电子喷射装置的离子注入装置。本发明的电子喷射装置(1)具有舱室(22)，该舱室(22)沿着规定的闭曲线(Ax)延伸并具有由导体构成的第一部分(22a)和由绝缘体构成的第二部分(22b)。在第一部分(22a)的外侧设置有线圈(18)，从而在与规定的闭曲线(Ax)所形成的面交叉的方向上形成磁场。通过该磁场，线圈(18)与舱室(22)感应耦合。由于惰性气体的等离子体主要通过感应耦合在舱室(22)生成，因此等离子体中的电子具有低能量。这里，向电极(21)施加电压时，舱室(22)内的具有低能量的电子将从开口(14)喷出。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 喷射 装置 离子 注入 | ||
【主权项】：
1.一种电子喷射装置，该装置用于离子注入装置中，并生成电子，其特征在于，所述电子喷射装置包括：舱室，该舱室沿着规定的闭曲线延伸，并具有用于喷出所述电子的开口、用于供应惰性气体的供应口、由导体构成的第一部分、以及由绝缘体构成的第二部分；磁场形成部件，该部件设置于所述第一部分的外侧，并在与所述规定的所述闭曲线所形成的面交叉的方向上形成磁场；电极，该电极设置于所述舱室内。
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