[发明专利]等离子体谐振腔的动态设计方法和装置

摘要

本发明提供一种等离子体谐振腔的动态设计方法和谐振腔机械装置，该装置包括：一个圆柱形的大圆柱筒，封闭大圆柱筒的两个固定圆形板，两个小圆柱筒，在两个小圆柱筒相对的端面之间的裂缝，穿过两个小圆柱筒的石英管，在大圆柱筒中部并与它的轴垂直的圆形通孔，两个短路活塞，每个短路活塞的外侧端分别安装两根对称的支撑杆，穿过所述大圆柱筒端面的所述固定圆形板，通过所述大圆柱筒两侧的螺丝调节装置与所述大圆柱筒外侧的圆环连接。本发明的方法使设计等离子体谐振腔简易可行，避免了多次机械设计与加工，可以很快得到实用的等离子体谐振腔。

主权项

1.一种等离子体谐振腔的动态设计方法，包括以下步骤：计算该等离子体谐振腔的结构尺寸；加工成多个参数可以独立调节的试验谐振腔的机械装置；提供测试该试验谐振腔机械装置的一个动态测试平台，进行大功率动态模拟测试；其特征在于该动态模拟测试包括以下步骤：调节该试验谐振腔机械装置的外部和内部尺寸使石英管内气体电离产生等离子体；测量微波入射功率与反射功率；调节该试验谐振腔机械装置的可调的外部尺寸，从而改变谐振腔内部尺寸获得小于入射功率的4％的反射功率；当获得小于入射功率的4％的多组反射功率的机械尺寸时，从中优选出一组该谐振腔机械装置最佳的结构尺寸数据。