[发明专利]光学可调滤光器及其制造方法有效
| 申请号： | 200410079178.6 | 申请日： | 2004-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101051096A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 村田昭浩;中村亮介;纸透真一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B1/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种光学可调滤光器，包括：第一衬底，其具有光传输特性，并包括可动部分；第二衬底，其具有光传输特性，并设置为与第一衬底相对；第一间隙和第二间隙，它们分别设置在可动部分和第二衬底之间；干涉部分，其通过第二间隙引起可动部分和第二衬底之间的入射光的干涉；以及驱动部分，用于利用第一间隙通过相对于第二衬底移动可动部分来改变第二间隙的距离。这使得有可能提供一种具有简单结构和较小尺寸的光学可调滤光器，这样的光学可调滤光器可通过简化的制造过程进行制造而不使用释放孔，并能实现可动部分的稳定驱动，以及一种用于制造这样的光学可调滤光器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 可调 滤光 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学可调滤光器，包括：具有光传输特性的第一衬底，所述第一衬底包括可动部分；具有光传输特性的第二衬底，所述第二衬底设置为与第一衬底相对；第一间隙和第二间隙，它们分别设置在可动部分和第二衬底之间；干涉部分，所述干涉部分通过第二间隙引起可动部分和第二衬底之间的入射光的干涉；以及驱动部分，用于利用第一间隙通过相对于第二衬底移动可动部分来改变第二间隙的距离。
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