[发明专利]位置测量装置有效
| 申请号： | 200410079851.6 | 申请日： | 2004-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN1601234A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | S·汤多夫;W·胡伯尔 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/36 | 分类号： | G01D5/36 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;蔡民军 |
| 地址： | 联邦德国特*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及的一种位置测量装置包括：一个设置在环形整体量具上的测量分度；一个用电磁辐射来进行测量分度的光学扫描的扫描单元；一个具有周期性扫描分度的扫描盘，该扫描盘布置在测量分度扫描用的电磁辐射的光路中，所以该电磁辐射既与扫描分度又与测量分度相互作用；和一个扫描单元的探测器，该探测器的探测面用来探测与扫描分度和与测量分度相互作用后的电磁辐射，且该探测器用来探测具有循环段(PD)的条形图形形式的电磁辐射。根据本发明，测量分度(15)的循环段PM和扫描分度(25)的循环段PA是这样匹配的，即1/(1/PA－1/PM)＜PD成立。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.位置测量装置，包括：·一个设置在一环形整体量具上的测量分度，·一个用电磁辐射来进行该测量分度的光学扫描的扫描单元，·一个具有周期性扫描分度的扫描盘，该扫描盘布置在测量分度扫描用的电磁辐射的光路中，所以该电磁辐射既与扫描分度又与测量分度相互作用，和·一个该扫描单元的探测器，该探测器的探测面用来探测与扫描分度和与测量分度相互作用后的电磁辐射，且该探测器用来探测具有循环段PD的条形图形形式的电磁辐射，其特征为，测量分度(15)的循环段PM和扫描分度(25)的循环段PA是这样匹配的，即1/(1/PA-1/PM)＜PD。
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