[发明专利]双稳态电磁微机械继电器

摘要

双稳态电磁微机械继电器，它采用将可动电极系统与平面线圈、触点电极系统及磁芯分别制作然后贴装组合的结构。可动电极系统由可动电极、扭梁、触点和边框构成，平面线圈和触点电极系统制作在硅衬底上，磁芯是硅衬底背面的两个腐蚀的硅杯，硅杯面上镀坡莫合金层。可动电极系统通过边框贴装在制作平面线圈和触点电极的硅底衬上，永磁铁紧贴在坡莫合金磁芯的表面上。本继电器克服了全平面工艺的弊端，利用电磁铁来改变可动电极的磁化方向，发生转动，并稳定在闭合或开路状态。一旦在电磁脉冲作用下改变了状态，继电器就可以稳定在这一状态，直到下一个电磁脉冲来改变其状态。因此，开路或闭合状态都不需要持续的供电来维持。

主权项

1、双稳态电磁微机械继电器，它包括有可动电极系统、平面线圈、触点电极系统及磁芯，其特征在于：可动电极系统与平面线圈、触点电极系统及磁芯采用分别制作然后贴装组合的结构；可动电极系统由可动电极、扭梁、触点和边框构成，可动电极通过中部两侧的扭梁支撑在边框上，可动电极两端有与平面线圈相对应的触点，可动电极、扭梁和触点具有相同的厚度，边框的厚度比可动电极略厚，其厚度差构成可动电极与平面线圈之间的间隙，整个可动电极系统由硅材料上涂敷一层坡莫合金构成；平面线圈和触点电极系统制作在硅衬底上，它们由两个平面线圈和两对接触电极及线圈引出电极构成，平面线圈由多层线圈和绝缘层组成；磁芯是在硅衬底的背面，正对平面线圈的地方有两个腐蚀的硅杯，并在腐蚀硅杯的这一面上镀有坡莫合金层，构成坡莫合金磁芯；可动电极系统通过边框粘接贴装在制作平面线圈和触点电极的硅底衬上，平板型的永磁铁紧贴在坡莫合金磁芯的表面上。