[发明专利]水溶性材料、化学放大型抗蚀剂及使用它们的图形形成方法无效
| 申请号： | 200410081724.X | 申请日： | 2004-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1637600A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 远藤政孝;笹子胜 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种水溶性材料、化学放大型抗蚀剂以及图形形成方法，在抗蚀膜(102)上形成含有水溶性聚合物、酸生成剂以及形成可包合该酸生成剂的包合物的化合物的水溶性膜(103)。接着，借助水溶性膜(103)，对抗蚀膜(102)照射由NA为0.68的KrF准分子激光器发出的透过掩膜(104)的曝光光(105)，以进行图形曝光。然后，对已进行图形曝光的抗蚀膜(102)，使用电热板在105℃的温度下烘焙60秒。接着，在用水除去水溶性膜(103)之后，对已烘焙的抗蚀膜(102)进行显影，得到由抗蚀膜(102)的未曝光部构成的具有良好形状的抗蚀图形(102a)。根据本发明可以得到显影时不会生成表面难溶层且具有良好形状的微细化图形。 | ||
| 搜索关键词： | 水溶性 材料 化学 大型 抗蚀剂 使用 它们 图形 形成 方法 | ||
【主权项】：
1、一种水溶性材料，其包含：水溶性聚合物；酸生成剂；表面活性剂；和用于结合所述酸生成剂的包合物。
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