[发明专利]物料取放机构有效
申请号: | 200410081943.8 | 申请日: | 2004-12-21 |
公开(公告)号: | CN1796057A | 公开(公告)日: | 2006-07-05 |
发明(设计)人: | 徐嘉彬;洪嘉宏;林业超;刘俊贤;蔡雅惠;张瀛方 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | B25J3/02 | 分类号: | B25J3/02 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王玉双;高龙鑫 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种物料取放机构,用于将一承载装置内的晶圆的芯片快速地取放至一置芯盒内,至少包含一水平点对点运动装置以及一垂直升降运动装置;该水平点对点运动装置至少包含一固定件、一第一驱动单元、一驱动件、一传动件和一输出杆;该第一驱动单元的驱动轴带动该驱动件转动,该驱动件的另一端带动该传动件,该传动件的另一端带动该输出杆,从而使该输出杆作摆动动作;该垂直升降运动装置可配置于该输出杆上作垂直升降的动作,或可驱动该水平点对点运动装置的固定件作垂直升降的动作;由此,使该输出杆可往复地取放与移动该晶圆的芯片。本发明的物料取放机构不但结构简单、刚性和稳定性强,并且取放速度快、成本低和生产效率高。 | ||
搜索关键词: | 物料 机构 | ||
【主权项】:
1.一种物料取放机构,其中包含:一水平点对点运动装置,其至少包含一固定件、一第一驱动单元、一驱动件、一传动件和一输出杆,该第一驱动单元固定于该固定件,该驱动件的一端枢接于该固定件且固定于该第一驱动单元的驱动轴,该传动件的一端枢接于该驱动件的另一端,该输出杆枢接于该传动件的另一端,该输出杆的一端并枢接于该固定件且形成一枢接点,其中,当该第一驱动单元的驱动轴带动该驱动件转动时,该驱动件的另一端带动该传动件且带动该输出杆,该输出杆以该枢接点为一回转中心作摆动动作;以及一垂直升降运动装置,其配置于该输出杆的另一端作垂直升降的动作。
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