[发明专利]高速载入器相对于基片传送系统的校准有效
| 申请号： | 200410082294.3 | 申请日： | 2004-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1669892A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·R·赖斯;埃里克·A·恩格尔哈德特;罗伯特·B·劳伦斯;马丁·R·埃里奥特;杰弗里·C·赫金斯;柯克·范卡特威克;阿米特·普里 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/68;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄必青 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 第一方面，提供相对于移动传送机来校准基片载体载入器的第一种方法。第一种方法包括步骤：(1)提供适于将基片载体装到移动传送机上的基片载体载入器；(2)将基片载体载入器与移动传送机对准；(3)相对于移动传送机校准基片载体载入器。提供多个另外的方面。 | ||
| 搜索关键词： | 高速 载入器 相对于 传送 系统 校准 | ||
【主权项】：
1.一种相对于移动的传送机来校准基片载体载入器的方法，包括：提供一个适于将基片载体装到一个移动传送机上的基片载体载入器；相对于移动传送机对齐基片载体载入器；相对于移动传送机校准基片载体载入器。
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