[发明专利]真空镀膜工艺过程的自动检测方法有效
| 申请号： | 200410082356.0 | 申请日： | 2004-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1632162A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 范多旺;邓志杰;范多进;解武波;孔令刚;王汉安;武福;于正勤 | 申请（专利权）人： | 兰州大成自动化工程有限公司;兰州交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 王学定 |
| 地址： | 730070甘肃省兰州*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空镀膜工艺过程自动检测的控制方法，该方法采用工艺检测回路，自动检测推入真空室体的蒸发源工件转架，并实现自动执行和切换蒸发电源的工艺过程，完全消除了蒸发源损坏，全炉工件报废的事故发生；本发明整个检测过程利用计算机软件控制执行，安全可靠、操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 工艺 过程 自动检测 方法 | ||
【主权项】：
1、一种真空镀膜工艺过程的自动检测方法，其特征在于：先根据蒸发源的材料、连接方式在蒸发回路中设定一个电流门限值，并让蒸发电源在极短的时间内输出小电压值，使检测回路电流值与电流门限值比较，若检测回路电流值大于电流门限值，则确定推入室体的是该蒸发源的工件转架，并自动执行该蒸发源的工艺过程；若检测回路电流值小于电流门限值，则确定推入室体的不是该蒸发源的工件转架，并自动执行蒸发电源的切换。
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