[发明专利]在制造磁性薄膜盘片期间过程定时的控制无效
| 申请号： | 200410082467.1 | 申请日： | 2004-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1604201A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·P·乔吉;保罗·M·格林;加思·W·赫尔夫;埃里克·C·奥布赖恩;潘勤;安东尼·L·史密斯;罗伯特·J·沃尔特曼 | 申请（专利权）人： | 日立环球储存科技荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;G11B5/725 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于控制a)薄膜沉积和涂布润滑剂及b)涂布润滑剂和磨料抛光之间的过程延迟时间的方法。申请人发现对于某些润滑剂，在外层沉积之后和涂布润滑剂之前，最小的延迟时间增加了磨料抛光后通过滑动测试的盘片数。另外，申请人还发现对于某些润滑剂，磨料抛光应该在涂布润滑剂后的最大时间限内进行。优选应用计算机程序化的半成品追踪系统以实施本发明的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 磁性 薄膜 盘片 期间 过程 定时 控制 | ||
【主权项】：
1.一种制造薄膜盘片的方法，包括以下步骤：记录用于盘片的薄膜沉积结束的第一时间点；在第一时间点后等待预定的时间使得薄膜表面稳定化；预定时间过去后对盘片涂布润滑剂；记录对盘片涂布润滑剂的第二时间点；检查第二时间点，在自涂布润滑剂后超出所选的时间段时拒绝所述盘片，然后对盘片进行磨料抛光；和对盘片进行滑动测试。
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