[发明专利]角速率检测设备

摘要

角速率检测设备，它包括由至少一个支撑梁连接的四个质量部分，各质量部分上设置相应的单个振动发生器。单个振动发生器通过使彼此相邻的成对质量部分按相反的相位振动，激励正常振动模式。于是，迫使各质量部分按正常振动模式振动。在质量部分的内框沿检测方向发生位移的同时沿振动方向振动的情况下，角速率检测器检测中央质量部分的内框的位移，作为围绕垂直于检测方向并垂直于振动方向的一个轴的角速率。

主权项

1.一种角速率检测设备，它包括：基板；多个质量部分，在基板上沿预定方向彼此并排设置；支撑梁，所述支撑梁与多个质量部分相连，从而使多个质量部分中的每个质量部分实际上沿与多个质量部分彼此并排设置之预定方向垂直的振动方向振动；固定部分，所述固定部分将支撑梁固定在基板上；多个振动发生器，所述振动发生器使两个彼此相邻的质量部分按相反的相位沿振动方向振动；角速率检测器，用于检测质量部分的一部分在检测方向上的位移，作为角速率；所述检测方向实际上与质量部分振动状态下的振动方向垂直；其中，振动发生器在彼此相邻的两个质量部分上沿彼此相反的方向加给驱动力。