[发明专利]柱状喷洒显影和雾状喷洒显影互换的显影装置有效
| 申请号： | 200410082838.6 | 申请日： | 2004-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1782887A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 王绍勇 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源先进半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/26 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用以在半导体晶片上获得光刻胶图形的显影工艺的一种显影处理的设备，具体为柱状喷洒显影和雾状喷洒显影互换的显影装置。雾状喷嘴和柱状喷嘴固定安放在托架上，托架分别连有升降驱动机构和水平驱动机构，托架上安有与两种喷嘴相对应的感应传感器，带有气爪的操作杆通过旋转驱动机构驱动转动，在托架水平运动的方向上，操作杆的气爪分别对应雾状喷嘴和柱状喷嘴。本发明对实施了衬底上的曝光处理的抗蚀剂膜实施显影处理，在晶片的表面上搅涂一层显影剂。在涂显影剂的时候，有时是以雾状的方式喷洒，有时是以柱状的方式喷洒。本装置能集两种喷洒方式于一身通过驱动装置进行自动转换。 | ||
| 搜索关键词： | 柱状 喷洒 显影 雾状 互换 装置 | ||
【主权项】：
1、一种柱状喷洒显影和雾状喷洒显影互换的显影装置，其特征是：雾状喷嘴(1)和柱状喷嘴(2)固定安放在托架(a)上，托架(a)分别连有升降驱动机构(b)和水平驱动机构(c)，托架(a)上安有与两种喷嘴相对应的感应传感器，带有气爪(f)的操作杆(d)通过旋转驱动机构(g)驱动转动，在托架(a)水平运动的方向上，操作杆的气爪(f)分别对应雾状喷嘴(1)和柱状喷嘴(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳芯源先进半导体技术有限公司，未经沈阳芯源先进半导体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410082838.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光触媒齿科牙钻手机灭菌装置
- 下一篇：带导光体的装饰灯串
