[发明专利]液晶显示装置及其制造方法

摘要

本发明的目的在于克服在减少现有制造步骤数的制造方法中，通道长度变短时，制造宽裕度变小并导致良率降低的问题。本发明通过：由半色调曝光技术的导入而使信号线的形成步骤及像素电极的形成步骤合理化的新技术、将半色调曝光技术导入作为公知技术的源极·漏极布线的阳极氧化步骤而使电极端子的保护层形成步骤合理化的新技术、以及利用半色调曝光技术的导入而使扫描线的形成步骤及半导体层的形成步骤、扫描线的形成步骤及蚀刻终止层的形成步骤、以及扫描线的形成步骤及触点形成步骤合理化的新技术的组合而实现TN型液晶显示装置的4片光掩模处理及3片光掩模处理方案。

主权项

1.一种液晶显示装置，其是在第1透明性绝缘基板、以及和所述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或彩色滤光片间充填液晶而制成的，该第1透明性绝缘基板在其一主面上以二维矩阵排列着单位像素，该单位像素至少具有：绝缘栅极型晶体管、兼用作所述绝缘栅极型晶体管的栅电极的扫描线及兼用作源极布线的信号线、及连结于漏极布线的像素电极，其特征在于特征在于：由透明导电层及低电阻金属层的叠层所构成的绝缘栅极型晶体管的源极布线经由含有杂质的第2半导体层及耐热金属层连结于作为通道的不含杂质的第1半导体层，且透明导电性的像素电极经由含有杂质的第2半导体层及耐热金属层连结于所述第1半导体层。