[发明专利]输送前体物质的方法和容器

摘要

本发明公开了一种用来生产和输送包括前体材料气相的含有前体材料的流体流的容器和方法。一方面，该发明提供了一种容器，其包括：分成上部空间和下部空间的内部空间，其中上部空间和下部空间的流体相通；一个包括流体入口、流体出口、任选的注入口的盖子和一个内凹槽，其中上部空间的至少一部分位于内凹槽内；一个介于盖子和底部的侧壁；及至少一个延伸至下部空间并与容器中的前体相接触的突出物，该突出物自盖子、侧壁或底部及其组合开始延伸。

主权项

1.一种用来输送源于前体材料的含有前体的流体流的容器，该容器包括：一个内部空间，该内部空间被分为上部空间和下部空间，其中上部空间和下部空间流体相通；一个包括流体入口、流体出口、任选的注入口和一个内凹槽的盖子，其中上部空间的至少一部分位于内凹槽里面；一个介于盖子和底部之间的侧壁；及至少一个延伸至下部空间的突出物，其中前体与该至少一个突出物接触以及该至少一个突出物自盖子、侧壁或底部及其组合开始延伸。