[发明专利]制造超低金属含量的氨的方法无效
| 申请号： | 200410083303.0 | 申请日： | 2001-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1603233A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·J·德肖维茨;瑞安·L·米尔斯;杰伊·F·施奈特;柯蒂斯·多弗;萨丹纳·马哈潘特拉;凯文·K·沃滋沃斯 | 申请（专利权）人： | 气体产品及化学制品公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国宾*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过初始使液氨流过液相油分离系统(14)来纯化商品级的氨以用于制造半导体。这除去了绝大部分的杂质。经过滤的液氨然后流过蒸发器(18)，静止形成氨蒸汽并在氨蒸汽中夹带杂质。蒸汽流过蒸汽过滤系统(78，82)并随之流入鼓泡塔(94)。鼓泡塔(94)被设计使气泡足够小，其移动速率确保气泡中的任何颗粒有时间转移至气泡的表面并由此流过液相。所收集的蒸汽被随后导入蒸汽过滤器(104，106)中并被收集。如果希望得到无水氨，氨蒸汽在鼓泡塔的上游收集。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 金属 含量 方法 | ||
【主权项】：
1.一种适合于纯化氨的蒸发器(18)，其包括具有底面的长条形罐，该倾斜的罐的第一末端低于所述罐的第二末端，位于所述罐的第一末端的排出管(58)以及用于在所述罐中加热氨的加热器(50)适配器。
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