[发明专利]梳齿电容式Z轴加速度计及其制备方法无效
| 申请号： | 200410083692.7 | 申请日： | 2004-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1605871A | 公开（公告）日： | 2005-04-13 |
| 发明（设计）人： | 杨振川;闫桂珍;刘雪松;郝一龙;武国英 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B5/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐宁;关畅 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种梳齿电容式Z轴加速度计及其制备方法，所述梳齿电容式Z轴加速度计包括玻璃衬底，可动电极，固定电极，支撑梁和锚点，所述两固定电极的一端分别连接在所述玻璃衬底上，所述可动电极不等高梳齿插设在两侧的所述固定电极之间，形成两组敏感电容，所述可动电极的两端分别连接一所述支撑梁，所述两支撑梁分别通过一所述锚点连接在所述玻璃衬底上，所述可动电极以所述支撑梁为轴，其两侧具有质量差。本发明的制备方法可以采用常规MEMS工艺设备，实现大批量制造，且工艺过程简单，与水平轴加速度计工艺兼容，可用于实现单芯片的三轴加速度计。 | ||
| 搜索关键词： | 梳齿 电容 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种梳齿电容式Z轴加速度计，其特征在于：它包括玻璃衬底，可动电极，固定电极，支撑梁和锚点，所述两固定电极的一端分别连接在所述玻璃衬底上，所述可动电极不等高梳齿插设在两侧的所述固定电极之间，形成两组敏感电容，所述可动电极的两端分别连接一所述支撑梁，所述两支撑梁分别通过一所述锚点连接在所述玻璃衬底上，所述可动电极以所述支撑梁为轴，其两侧具有质量差。
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