[发明专利]动态压力感测结构

摘要

一种动态元件压力感测结构，主要包含电极板、支撑垫和基板，支撑垫将电极板与基板隔开形成振动腔，电极板包含可挠区域与平坦振动区域，可挠区域围绕并连接在平坦振动区域，下电极板包含致动电极与感测电极，致动电极围绕感测电极并对应可挠区域设置，使感测电极对应于平坦振动区域形成电容，致动电极用来提供极化电压以产生静电力吸引可挠区域下压，可挠区域的下压带动平坦振动区域产生位移，通过这样调整平坦振动区域相对于感测电极的距离，且由于上层电极板的薄膜形状与位置可因驱动电极压差而产生不同改变量，可有效增进其应用于电容式麦克风的各种性质。

主权项

1.一种动态压力感测结构，其特征在于：包括一上电极板、一支撑垫和一下电极板，所述上电极板具有一可挠区域与一平坦振动区域，所述可挠区域围绕并连接于所述平坦振动区域；所述上电极板连接于所述支撑垫；所述下电极板设于所述上电极板的下方，所述上电极板与所述下电极通过所述支撑垫维持一间隙，并形成一腔室；所述下电极板具有一致动电极与一感测电极，所述致动电极围绕于所述感测电极并对应于所述可挠区域设置，使所述感测电极对应于所述平坦振动区域而形成一电容，所述致动电极提供极化电压产生一静电力吸引所述可挠区域下压，以带动所述平坦振动区域维持平坦状态移动改变其相对于所述感测电极的距离。