[发明专利]一种用于化学气象沉淀装置的电子吸着盘

摘要

本发明有关一种用于化学气象沉淀装置的电子吸着盘，其上具有外圈冷却氦气喷气孔及内圈冷却氦气喷气孔，在上述电子吸着盘的背面具有多个偏压加载点，且上述多个偏压加载点为环状线圈。由于具有多个偏压加载线圈，向外扩大面积，所以通过偏压的分布均匀性改善硅片与电子吸着盘表面的接触效果，从而最终减小硅片周圈与中心部分的温度差。

主权项

1.一种用于化学气象沉淀装置的电子吸着盘，其上具有外圈冷却氦气喷气孔及内圈冷却氦气喷气孔，其特征在于：在上述电子吸着盘的背面具有多个偏压加载点。