[发明专利]掺镱钆镓石榴石平面光波导的制备方法无效
| 申请号： | 200410084638.4 | 申请日： | 2004-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN1614453A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 赵志伟;姜本学;徐军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种掺镱钆镓石榴石平面光波导的制备方法，它是采用脉冲激光沉积法，将Yb3+:GGG多晶靶材的表层分子熔蒸出来，在加热的纯YAG衬底上生成Yb3+:GGG平面光波导。本方法可以在纯YAG衬底上生长出符合需要的微米量级的Yb3+:GGG平面光波导。不仅节省材料，还可以批量生产，对激光技术以及集成光学的发展具有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 掺镱钆镓 石榴石 平面 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掺镱钆镓石榴石平面光波导的制备方法，其特征在于选取Yb3+:GGG多晶靶材，在纯YAG单晶衬底上生长一层Yb3+:GGG平面光波导。
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