[发明专利]微镜元件有效
| 申请号： | 200410085274.1 | 申请日： | 2004-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1696759A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 宓晓宇;曾根田弘光;上田知史;佐胁一平 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑特强;经志强 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种微镜元件，包括微镜基板、布线基板、以及置于所述两基板之间的导电衬垫。该微镜基板整体地形成有框、具有镜部的活动部分、以及将该框连接到该活动部分的扭杆。该布线基板设有布线图案。该导电衬垫将该微镜基板从该布线基板隔离，并且将该框电连接到该布线图案。该布线基板具有朝向该微镜基板的表面。在该表面上设有检测器，用于检测该镜部的旋转角。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 | ||
【主权项】：
1.一种微镜元件，包括：微镜基板，与至少一个微镜单元整体地形成，该微镜单元包括：框、具有镜部的活动部分、以及将该框连接到该活动部分的扭杆；布线基板，形成有布线图案；以及导电衬垫，用于将该微镜基板从该布线基板隔离，并且用于将该框电连接到该布线图案；其中该布线基板包括朝向该微镜基板的第一表面，该第一表面设有检测器，用于检测该镜部的旋转角。
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