[发明专利]一种在原位形成纳米结构的方法和装置无效
申请号: | 200410085280.7 | 申请日: | 2004-10-18 |
公开(公告)号: | CN1762789A | 公开(公告)日: | 2006-04-26 |
发明(设计)人: | 李毅;吴希俊;徐涛;吴大雄;胡军岩 | 申请(专利权)人: | 香港理工大学 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王玉双;王艳江 |
地址: | 香港九*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | 一种在原位形成纳米结构的装置,包括:一隔离室(1),其内部充有气体;一加热器(11),设置在该隔离室的下部;待蒸发的物质(9),设置在加热器之上;一基材(4),设置在该隔离室上部、距该待蒸发物质和加热器一定距离的位置处;和一冷却室(2),紧贴该基材设置在该基材的上方,用于对该基材进行冷却;其中当该加热器将该待蒸发的物质加热到沸点时,该待蒸发物质转变为气态,在该隔离室内部气体的承载下,向上运动,在接触到温度较低的该基材表面时,冷凝形成固态并沉淀于基材的表面,从而在基材的表面形成纳米结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 原位 形成 纳米 结构 方法 装置 | ||
【主权项】:
1、一种用于原位形成纳米结构的装置,其特征在于,包括:一隔离室(1),其内部充有气体;一加热器(11),设置在该隔离室(1)的下部;待蒸发的物质(9),设置在加热器(11)之上;一基材(4),设置在该隔离室(1)上部、距该待蒸发物质和加热器(11)一预定距离的位置处;和一冷却室(2),紧贴该基材(4)设置在该基材的上方,用于对该基材进行冷却;其中当该加热器将该待蒸发的物质加热到沸点时,该待蒸发物质转变为气态,在该隔离室内部气体的承载下,向上运动,在接触到温度较低的该基材表面时,冷凝形成固态并沉淀于基材的表面,从而在基材的表面形成纳米结构。
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