[发明专利]用溶胶-凝胶技术制备硅石或硅石系厚玻璃膜的方法及所得厚膜无效

专利信息
申请号: 200410085594.7 申请日: 1999-09-06
公开(公告)号: CN1611446A 公开(公告)日: 2005-05-04
发明(设计)人: 洛伦佐·科斯塔;彼尔·保罗·科斯塔;斯特凡尼亚·格兰迪 申请(专利权)人: 诺瓦拉技术股份有限公司
主分类号: C01B33/12 分类号: C01B33/12;C23C18/12
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 过晓东
地址: 意大利*** 国省代码: 意大利;IT
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摘要: 发明涉及一种在基体上制备氧化硅或氧化硅系混合氧化物玻璃膜的溶胶-凝胶方法,所得膜的厚度大于1微米,通常在2~20微米之间,其特点是不存在缺陷,而且证明特别适于作为平面光学设备的波导管。
搜索关键词: 溶胶 凝胶 技术 制备 硅石 玻璃 方法 所得
【主权项】:
1、按溶胶—凝胶技术制备氧化硅或氧化硅系玻璃膜所用的溶胶组合物,其特征在于,它包括:·要得到其氧化物的硅和其它元素的可溶性前体物在水、醇或醇水混合物中的溶液或悬浮液,所说其它元素包括任选地一种或多种选自Ge、Al、Ti和Zr中的元素,其中,硅的可溶性前体物和其它元素的可溶性前体物的摩尔比至少为1∶1;·在所说的溶胶中,含有酸的水溶液,相对于每摩尔的所说前体物,该水溶液含有至少10摩尔H2O,其pH值在0.5~1.5之间;以及·浓度在0.03~0.5N之间的酸,它能使溶胶的pH值在0.3~1.5之间。
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