[发明专利]执行基于模型的光邻近校正的方法无效
| 申请号： | 200410086091.1 | 申请日： | 2004-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1612047A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 格里格·M·加勒廷;伊曼纽尔·戈弗曼;黎家辉;马克·A·拉维恩;玛哈拉杰·穆克吉;多夫·拉姆;艾伦·E·罗森布鲁斯;施洛莫·谢拉夫曼 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于执行基于模型的光邻近校正的方法和执行这种方法的程序存储设备，所述方法提供具有感兴趣区即ROI的掩模矩阵并在掩模矩阵内定位多个感兴趣点。计算具有多个代表所定位的感兴趣点的节点的第一多边形，随后确定它的节点与ROI之间的空间关系。然后第一多边形的节点被钉扎至ROI的边界上和之内以使第二多边形被形成在ROI上。对第一多边形的所有节点重复该过程以使第二多边形被坍缩到ROI上。然后该坍缩后的第二多边形被用于校正光邻近。 | ||
| 搜索关键词： | 执行 基于 模型 邻近 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种执行基于模型的光邻近校正方法，该方法包括：提供具有带有边界的感兴趣区的掩模矩阵；在所述掩模矩阵内定位多个感兴趣点；确定具有多个代表所述所定位的多个感兴趣点的节点的第一单环路有限几何形状；和坍缩所述第一单环路有限几何形状至所述感兴趣区上以校正光邻近。
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