[发明专利]压电谐振子的频率调整方法及频率调整装置

摘要

一种压电谐振子的频率调整方法及频率调整装置，在衬底基板(1)的上面固定压电谐振子(10)而成的压电部件上，以第1掩模(44)的上面达到与压电谐振子的表面大致同一高度或其以下的方式，使其开口部嵌合压电谐振子的外周部地配置第1掩模，在第1掩模的上方空出一定空间(46)地配置第2掩模(45)，从第2掩模的上方照射离子束来修整压电谐振子。由于第1掩模遮蔽发散的离子束，所以不会修整位于压电谐振子下方的衬底基板的电极。由于被离子束修整的压电谐振子的电极的飞散物向空间扩散，所以不再附着在压电谐振子上。因此，该频率调整方法，能够防止对不需要修整的部分照射离子束，防止在压电谐振子上再次附着电极的飞散物。

主权项

1.一种压电谐振子的频率调整方法，通过对固定在衬底基板上的利用厚薄振动的压电谐振子的表面的电极照射离子束来修整上述电极，而调整压电谐振子的频率，其特征在于，具备：将具有大小能够嵌合上述压电谐振子的外周部的开口部的第1掩模，以其上面达到与压电谐振子的表面大致同一高度或其高度以下的方式、上述开口部嵌合在压电谐振子的外周部地进行配置的工序；以在上述第1掩模的上方空出一定空间的方式配置具有与上述压电谐振子的电极的要修整的部分对应的开口部的第2掩模的工序；从上述第2掩模的上方照射离子束来修整压电谐振子的电极的工序。