[发明专利]压电振动片、压电器件及制造方法、便携电话、电子设备无效
| 申请号： | 200410086810.X | 申请日： | 2004-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1612472A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 棚谷英雄;城仓寿成;大城敦史 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种频率偏差相对温度变化的变化小、温度特性优越的压电振动片、压电器件及其制造方法、便携电话、电子设备。具有基部(51)和从基部(51)平行延伸的多个振动臂(34、35)，在基部(51)上设置有切口部(100)，在振动臂(34、35)的表面部和内面部上形成有槽部(56、57)，在振动臂(34、35)的至少槽部(56、57)中设置有驱动用电极，驱动用电极具有底层(75A)和在底层(75A)上形成的电极层(75B)，底层(75A)的厚度t为0.07μm＜t＜0.3μm的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 器件 制造 方法 便携 电话 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种压电振动片，其特征在于：具有基部和从上述基部平行延伸的多个振动臂，上述基部上设有切口部，在上述振动臂的表面部和内面部上形成有槽部，在上述振动臂的至少上述槽部中设有驱动用电极，上述驱动用电极具有底层和在上述底层上形成的电极层，上述底层的厚度t为0.07μm＜t＜0.3μm的范围。
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