[发明专利]用于制备大面积均匀薄膜的非线性热丝结构无效
| 申请号： | 200410086851.9 | 申请日： | 2004-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1603463A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 朱美芳;谷锦华;刘丰珍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院研究生院 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/46;C23C16/48 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100049北京市石景山区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备大面积均匀薄膜的热丝结构，属于材料制备技术领域。该结构包括热丝架、多根热丝和热丝绝缘接头；该热丝绝缘接头固定在热丝架的两个相对的边框上，该热丝的两端头与热丝绝缘接头相连；其特征在于，各根热丝热丝采用不均匀弹簧状的热丝，在热丝的两端区域的圈数/cm大于热丝中间区域的圈数/cm。本发明设计的热丝结构，通过提高端点热丝温度较好解决了限制大面积应用的热丝边界冷端效应，提高了热丝纵向的热场均匀性，避免了依靠增加热丝长度提高热丝方向均匀性而引起的热丝弯曲和腔体过大问题，明显增加了均匀热场面积与热丝结构面积之比F，有效实现大面积均匀的薄膜沉积，具有简单、实用方便的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 大面积 均匀 薄膜 非线性 结构 | ||
【主权项】：
1、一种用于制备大面积均匀薄膜的热丝结构，包括热丝架、多根热丝和热丝绝缘接头；该热丝绝缘接头固定在热丝架的两个相对的边框上，该热丝的两端头与热丝绝缘接头相连；其特征在于，各根热丝热丝采用不均匀弹簧状的热丝，在热丝的两端区域的圈数/cm大于热丝中间区域的圈数/cm。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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