[发明专利]蒸镀遮罩无效
| 申请号： | 200410086951.1 | 申请日： | 2004-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1763239A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 叶德郎 | 申请（专利权）人： | 悦城科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种蒸镀遮罩，是采用玻璃，石英，氟化镁或氟化钙等具有热膨胀系数与被加工元件基板相同或在其的下的材料为遮罩基板，并在该遮罩基板上配置一个或一个以上呈矩阵型态配置的遮罩工作单元，而该遮罩工作单元具一向内凹设于遮罩基板的遮蔽层，令该遮蔽层形成约在50～500μm的厚度，并于该遮蔽层上设有与所要求的预定图案相对应的贯穿孔槽作为蒸镀孔隙，而相对于该较薄的遮蔽层，在遮罩工作单元的周缘形成具有较大厚度的肋部，因而对该遮罩基板具有补强及防止变形的功能，由蒸镀遮罩所具备的高强度结构及低膨胀系数材料特性，以避免在蒸镀制程中的温度变化所导致遮罩的大量变形，造成镀膜图案的位置偏移，以便可在被加工元件基板上获得高精密度的蒸镀图案。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀遮罩 | ||
【主权项】：
1、一种蒸镀遮罩，是采用具有热膨胀系数与被加工元件基板相同或在其下的材料为遮罩基板，并在该遮罩基板上配置一个或一个以上呈矩阵型态配置的遮罩工作单元，其特征在于：该遮罩工作单元具一向内凹设于遮罩基板的遮蔽层，并于该遮蔽层上设有与所要求的预定图案相对应的贯穿孔槽作为蒸镀孔隙，而相对于该较薄的遮蔽层，在遮罩工作单元的周缘形成具有较大厚度的肋部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于悦城科技股份有限公司，未经悦城科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410086951.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：交流电机驱动电路
- 下一篇：鸡毛绒纤维合成革基布
- 同类专利
- 专利分类
