[发明专利]光电二极管的制作方法

摘要

一种光电二极管的制作方法，其中此光电二极管形成于第一导电型的一基底上。此方法先形成一隔离结构于基底中，以于基底中定义出光感测区。接着，于基底中形成多个沟槽。之后，于基底上形成第二导电型的一掺杂层，其中此掺杂层至少覆盖沟槽的内壁与基底的部分顶面。此光电二极管的制作方法可缩短整体工艺时间，并达到增加生产效率与降低生产成本的目的。

主权项

1、一种光电二极管的制作方法包括：于一基底中形成一第一导电型的一阱区；于该基底中形成一隔离结构，以于该基底中定义出一光感测区；于该光感测区内的该基底中形成多个沟槽；以及于该基底上形成一第二导电型的一掺杂层，该掺杂层覆盖该些沟槽的内壁与该光感测区内的该基底表面。