[发明专利]热分析传感器以及制造热分析传感器的方法有效
| 申请号： | 200410087946.2 | 申请日： | 2004-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1611931A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·许特尔;贝恩德·丹哈马尔;乌尔斯·尼德曼 | 申请（专利权）人： | 梅特勒－托莱多有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 瑞士格*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 在具有基片(1)和形成在基片(1)上的测量位置(3)的热电偶结构(5，6，7，8，9，10)的热分析传感器中，通过热电偶结构的特定形状以及基片(1)的材料选择可获得提高的灵敏度。此外，本发明还涉及这种传感器的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 传感器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种热分析传感器，它具有基片(1)，基片(1)能够在与基片(1)热连接的热源与形成在传感器上的至少一个测量位置(3，3’，30，31，32，33)之间传导热流，热分析传感器还具有形成在基片(1)的大体上平的表面(2)上以发出热电信号的热电偶结构，其中，热电偶结构包括多个热电偶接点(5，8，9，10)形成的串联链，热电偶接点由两种不同热电偶材料(6，7)构成、并且串联连接以形成热电偶队列，热电偶接点的串联链绕着测量位置(3，3’)的中心(4，4’)沿着方位方向延伸，各个热电偶接点以与测量位置(3，3’)的中心(4，4’)相隔交替不同的径向距离布置，其特征在于，方位地限定在串联链中最靠近中心(4，4’)的一个第一种热电偶接点(5)与两个紧邻的第二种热电偶接点(8)之间的表面(2)的至少一个空隙区域(13)包括在串联链中相互直接相邻的一个第三种热电偶接点(9)和一个第四种热电偶接点(10)。
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